半导体干法刻蚀设备Socket Flex FX

产品概述：

●应用于干法刻蚀系统，满足高温、高功率及等离子环境下的稳定工作要求。

产品应用：

●用于半导体干法刻蚀设备中，确保关键电气连接的高效传输。

●支持电源和信号传输，保证设备在严苛工况下的持续高性能运行。

产品特性（优势）

●高可靠性：设计保证在极端温度与高负载环境下稳定运行，降低故障风险。

●多版本选择：提供 Inner、Outer 和 C-Shroud 三种结构，满足不同安装需求与系统配置。

●耐腐蚀及抗高温：选用优质材料，提高耐热性和抗化学腐蚀性能，延长使用寿命。

●优化电气性能：确保稳定的电信号传输，提升整体系统的工艺一致性与效率。