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半导体备件设备中组件的固定SHEET_PKG, GASKET, GEL, GER
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SHEET_PKG, GASKET, GEL, GER


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产品概述技术参数行业知识
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一、核心价值

专用设计:专为 CER 509 型号的 FLEX FX 设备设计,确保与设备的完美兼容。

二、关键应用场景

电极密封:该垫片用于确保电极之间的密封性,防止气体泄漏,维持反应室内的真空环境。

提高工艺稳定性:通过提供可靠的密封,确保等离子体刻蚀过程的稳定性和一致性。

三、产品特性(优势)

专用设计:确保与设备的完美兼容。

高质量材料:采用耐高温、耐腐蚀的凝胶材料制造,适应半导体制造中的严苛环境。

易于更换:设计便于安装和更换,减少设备停机时间,提高生产效率。

四、产品展示图:

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