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核心优势

刻蚀过程的精确控制
采用优质材料制造
高兼容性
PEEK材质
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SOCKET,PLASMA,SENSOR


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PT200004160017

用于连接等离子传感器,监测等离子体状态
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产品概述:

SOCKET, PLASMA, SENSOR 并非一个普通连接器,而是一个高科技、高精度的系统工程组件。它集真空密封、电气连接、信号屏蔽、机械支撑和环境保护于一体,是连接恶劣的等离子体工艺环境与精密的外部控制系统的“桥梁”。



关键应用场景

等离子传感器连接:该插座用于连接等离子传感器,监测等离子体状态,确保刻蚀过程的精确控制。



产品特性:

●质量保证:采用优质材料制造,符合严格的质量标准,确保长期稳定运行。

●环境耐久性:

可承受等离子体工艺产生的高温(通常通过水冷设计实现)。

与工艺气体接触部分采用惰性材料(如316L不锈钢、铝、陶瓷),抵抗腐蚀性等离子体(如O₂, CF₄, Cl₂)的侵蚀。



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