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化合物半导体Nikon S308F 扫描式光刻机
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Nikon S308F | 库存：1000 | 订货编码：PT200004240014 | 在线询价 | -+ |
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产品应用： ●Nikon S308F扫描式光刻机 ●光源波长193nm ●分辨率优于0.07μm ●主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线 ●广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 |
产品特性： ●提供中英文软件及4"、6"、8"、12" 设备硅片改造 ●常年提供所有备件、耗材 |
产品规格： ●分辨率：0.07um ●N.A.：0.92 ●曝光光源：193nm ●倍率：4:1 ●最大曝光现场：26mm*33mm ●对准精度：12nm |
产品展示图：
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