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半导体设备后道工艺设备高精度控温超纯水加热器
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核心优势

快速加热
高精度控温
模块化设计
可靠部件
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高精度控温超纯水加热器


生产状态:现货
发货日:30 天
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   起订量:1 

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PT200004090007

适用于半导体设备超纯水(DIW)漂洗环节
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产品概述技术参数行业知识
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产品概述:

超纯水加热器是一种专为半导体、生物制药、微电子、实验室等领域设计的特种加热设备。其核心任务是在确保超纯水水质不降级的前提下,为其提供精确、稳定、均匀的热量。它不仅是简单的加热元件,更是一个集成材料科学、流体力学和控制技术的完整系统,是维持高端工艺良率和产品质量的关键辅助设备。



产品应用:

用于半导体湿法清洗设备(Wet Batch / Spin Single)中的超纯水(DIW)漂洗环节,提供高温高纯度水以增强清洗效果。



产品特征

快速加热:ΔT=55°C时,加热时间仅需1分40秒。

●高精度控温:温度控制精度±1°C(35-85°C范围内)。

●模块化设计:支持多型号(HDW-24L/36L/48L),流量覆盖24~48 L/min。

●可靠部件:采用卤素灯加热器(4kW/个),无金属接触污染风险。








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