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半导体备件其他辅助材料真空设备温度检测热电偶馈入装置
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真空设备温度检测热电偶馈入装置


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产品应用:

●本热电偶馈入装置适用于高温(最高可达540°C)环境下的温度监测和数据传输,特别适合应用于半导体制造、真空设备、高温炉、实验室科研装置及其他需要高密封、高可靠性的工业场景。

产品特性:

超高温适应性:特别设计用于最高540°C工况,满足严苛的高温应用需求。

卓越密封性能:泄漏率低于1x10⁻⁹ atm cc/sec He,适合高真空或高要求密封环境使用。

●高强度护套设计:采用3.2Ø x 260L护套结构,提升热电偶的机械强度及使用寿命。

多通道配置:5通道(5CH)设计,可同时监控多个测点,提升测量效率。

标准连接件配置:配置SMPW-K-M与CON-MINI-K-F接头,安装方便,兼容主流系统接口。

产品规格:

3.2Ø x 260L x SMPW-K-M x 5CH/CON-MINI-K-F适用于 HAMI 540度

额定温度:-100 至 450°C

泄漏率 < 1X10-9 ATM CC/SEC HE

产品展示图:

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