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半导体备件封装材料高洁净制造工艺高电流型软X射线离子发生器
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高洁净制造工艺高电流型软X射线离子发生器


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SXB-05SP1R Series
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订货编码:PT200004230100
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产品应用:

半导体、OLED、LCD 制造设备中的Stage下方、臂部、旋转平台等狭小空间除电

真空或惰性气体环境中的静电控制

需要精准离子平衡的高洁净制造工艺

空间受限的自动化设备、AMHS系统等

产品特性:

采用Pin型管子结构,即使是在如设备下方(如工作台底部)等狭小空间中也能轻松安装与实现静电消除

离子平衡 ±0V,满足高精度静电控制需求

在整个使用寿命期间保持初始性能稳定,无需频繁维护

无需洁净干燥空气(CDA),且无颗粒物扩散,确保洁净室环境安全

最多可配置9根管子,实现更大范围的静电中和

模块化管子结构,可在现场快速拆卸和更换,提升维护效率

管子可单独购买更换,降低整体运维成本,具备良好的经济性

根据《原子能安全法》施行令第8条,管电压(Tube Voltage)条件符合时,可免于放射性监管

产品规格:

SXB-05NR Series

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