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半导体备件封装材料大范围静电消除高电流型软X射线离子发生器
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大范围静电消除高电流型软X射线离子发生器


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SXB-05SP2 Series
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订货编码:PT200004230102
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产品应用:

半导体、OLED、LCD 制造设备中的Stage下方、臂部、旋转平台等狭小空间除电

真空或惰性气体环境中的静电控制

需要精准离子平衡的高洁净制造工艺

空间受限的自动化设备、AMHS系统等

产品特性:

采用 Pin型管子结构,即使在如设备底部(Stage下方)等狭小空间也能轻松安装并实现有效除电

两根管子同时辐射,能够产生更高密度的离子,提高除静电效率

实现离子平衡 ±0V,确保静电中和的高精度与安全性

使用寿命期间始终保持初始性能,减少维护频率

无需洁净干燥空气(CDA),且不会产生颗粒物飞散,保障洁净室环境

支持最多配置9根管子,覆盖更大范围的静电消除

采用模块化管子设计,支持现场快速拆卸和更换,提高维护便利性

管子可单独采购,更加经济实用

产品规格:

SXB-05SP2 Series

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