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半导体备件封装材料气体静电控制高电流型软X射线离子发生器
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气体静电控制高电流型软X射线离子发生器


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SXB-05SP1RL Series
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订货编码:PT200004230101
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产品应用:

半导体、OLED、LCD 制造设备中的Stage下方、臂部、旋转平台等狭小空间除电

真空或惰性气体环境中的静电控制

需要精准离子平衡的高洁净制造工艺

空间受限的自动化设备、AMHS系统等

产品特性:

采用 Pin型管子结构,即使在设备下方(如Stage底部)等狭窄空间中也可轻松安装并实现有效除电

可灵活适用于各种空间布局,即使存在障碍物等安装限制也能高效配置

实现离子平衡 ±0V,满足高精度静电中和需求

在整个使用周期内可持续保持初始性能,无需频繁维护

无需洁净干燥空气(CDA),且无颗粒扩散,保障洁净环境

最多可配置9根管子,覆盖更大除电范围

模块持现场快速分离化管子结构,支与更换,极大提高维护便利性

产品规格:

SXB-05SP1RL Series

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