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半导体备件封装材料方便更换高电流型软X射线离子发生器
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方便更换高电流型软X射线离子发生器


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SXB-05NRI Series
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订货编码:PT200004230104
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产品应用:

半导体、OLED、LCD 制造设备中的Stage下方、臂部、旋转平台等狭小空间除电

真空或惰性气体环境中的静电控制

需要精准离子平衡的高洁净制造工艺

空间受限的自动化设备、AMHS系统等

产品特性:

通过对气体(N₂、CDA)电离,实现管道内部的静电消除

离子平衡达到 ±0V

在使用寿命内始终保持初始性能

无需洁净干燥空气(CDA),且不会产生颗粒物扩散

最多可配置9根管子,实现大范围的静电消除

管模块化设计,支持现场快速拆卸与更换

管子可单独采购,维护更经济

根据《原子能安全法》施行令第8条规定,管电压符合条件时可免于放射性监管

产品规格:

SXB-05NR Series

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