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半导体设备其他辅助设备纳米级成像高分辨率扫描电子显微镜SEM(IS004)
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纳米级成像高分辨率扫描电子显微镜SEM(IS004)


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产品应用:

纳米级成像:用于观察样品的表面形貌和微观结构。

材料分析:通过EDS、EBIC/CL等工具分析材料的成分和特性。

样品制备:利用电子束光刻系统进行高精度样品处理。

缺陷检测:在半导体制造中用于晶圆表面缺陷的检测与分析。

3D分析:支持样品的三维结构重建和分析。

产品特性:

高分辨率成像:放大倍数高达5000倍,揭示纳米级细节,超越光学显微镜能力。

多功能探测器系统:支持高精度纳米级成像和大面积样品分析。

高度自动化:自动样品台和样品更换功能,减少人工干预,提升效率。

先进样品制备:集成电子束光刻和自动化制备协议,支持高精度样品处理。

全面分析工具:配备EDS、EBIC/CL、3D分析等多种分析工具,支持深入材料研究。

稳定性能:内置环境室和冷却系统,确保成像和分析的可靠性。

用户友好界面:直观的操作界面,适合不同经验水平的研究人员。

产品规格:

●RS-3000

产品展示图:

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