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多波长激光扫描晶圆表面检测设备


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IM-7
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产品应用:

CMP后表面颗粒/划痕检测。

产品特性:

●50nm缺陷检出能力、多波长激光扫描。

产品规格:

●Nidek IM-7。

产品展示图:

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