科研及工业用UHV 超高真空闸阀

二、产品特性（优势）

●陶瓷球机构设计，低颗粒

●可使用维修零件包，维护简便

三、产品规格

●操作方式：手动/气动

●法兰尺寸：1.5"~12"

●法兰类型：CF

●进出端密封：Viton O型圈 / Kalrez O型圈 / EPDM

●上盖密封：铜垫片

●响应时间：≤ 2 秒

●工作压力范围：1x10⁻¹⁰ mbar ~ 1400 mbar（大口径至 1200 mbar）

●开启时压差：≤ 30 mbar

●阀门上压差：1.5"~6" ≤1400 mbar / 8"~12" ≤1200 mbar

●泄漏率：< 1x10⁻¹⁰ mbar ℓ/sec

●使用寿命：20 万次

●阀体温度：≤ 250°C

●执行器温度：≤ 150°C

●指示器温度：≤ 150°C

●烘烤温度：≤ 200°C

●材料：阀体（SUS304/316L），执行器（AL6061 阳极氧化）

●安装方向：任意 驱动气压（N2）：4~7 bar