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I-Motion 传输阀


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订货编码:PT200004280016
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产品概述技术参数行业知识
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一、产品应用

应用:半导体系统内的转运及腔体隔离(≤ 450mm 晶圆)

二、产品特性(优势)

不锈钢或铝制,紧凑设计

使用维修零件包,维护方便

三、产品规格

Specifications

操作方式:气动

尺寸:32X222, 46X236, 50X336, 56X496

密封:Viton O型圈 / 硫化密封

响应时间:≤ 2 秒

工作压力范围:1x10⁻⁸ mbar ~ 1200 mbar

开启压差:≤ 30 mbar

泄漏率:< 1x10⁻⁹ mbar ℓ/sec

使用寿命:≥ 100 万次

阀体温度:≤ 200°C

执行器温度:≤ 80°C

烘烤温度:≤ 200°C

材质:SUS304 / AL6061(阳极氧化)

安装方向:任意

驱动气压(N₂):4~7 bar


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