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半导体备件真空和气体系统部件光刻真空紫外线静电消除装置
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光刻真空紫外线静电消除装置


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SVH-K24
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产品应用

半导体制造工艺(如光刻、刻蚀、薄膜沉积等)

OLED / LCD 显示面板生产线

精密电子元件制造

真空镀膜及封装设备

其他需要惰性气体环境下静电消除的高端制造工艺

产品特性:

利用真空紫外线(VUV)实现高效静电消除

可在氮气(N₂)、氩气(Ar)等惰性气体环境中进行静电中和。

在减压真空环境下发挥最佳除电性能。

与其他产品相比发热量更低,对制程环境影响最小。

支持实时On/Off控制,将UV光源暴露时间控制在1秒以内,延长使用寿命。

实时显示Head故障及更换信息,便于维护与设备管理。

产品规格:

SVH-K24

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SVH-M24

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产品展示图:

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