我国首颗基于12英寸晶圆MEMS制造工艺的微流控芯片成功流片，工业喷墨打印头取得新突破

近日，上海傲睿科技有限公司CMOS-MEMS智能微流控芯片已在广州增芯科技成功流片下线，这是我国首颗基于12英寸晶圆MEMS制造工艺的微流控芯片，将解决宽幅工业打印头国产化难题，填补了国内空白。今年六月，广东越海集成技术有限公司首批MEMS制造设备正式入驻厂区，标志着越海集成国内首条12英寸CMOS-MEMS智能微流控芯片量产线建设全面启动，兑现了多方共建“12英寸CMOS+MEMS+封装‘三位一体’综合性技术平台”的战略承诺。据了解，基于MEMS技术的智能微流控芯片是液体数字化的“核心引擎”，能以皮升级精度高通量操控液体，其广泛应用于喷墨打印、生物医疗及超精密机械加工。然而，这一领域长期被惠普、佳能、意法半导体等国际巨头垄断，国产化率近乎为零。上述产线的建设，正是为了打破这一局面，实现核心技术自主可控。据悉，该项目由兴橙资本牵头，越海集成联合傲睿科技及广东工研院，覆盖设计-制造-应用的智能微流控芯片产业链，构建国内首个12英寸晶圆MEMS微流控芯片量产线。本次设备入厂将为MEMS喷墨打印头自主量产奠定硬核基础。越海集成首期将达到每月1500片喷墨打印芯片产量，以全球首条12英寸智能微流控生产线为支点，越海集成将全力推动我国智能制造与生命科学仪器核心部件自主化。