刀架/法兰

【产品应用】：主要应用于LED 衬底片、外延片的背面研磨、抛光制程。 【产品卖点】：陶瓷修整环由高纯氧化铝粉烧结而成，具有硬度高，精度高，形状保持性好，无需修整、寿命长等特点，特别适用于晶圆或芯片等精度要求高的产品的研磨抛光制程，能够实现对研磨盘的在线高精修整和对研磨液的均匀分散。