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半导体干法刻蚀机PDS静电吸盘
生产状态:现货
发货日:30 天
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型号
PWPDS-03P | 库存:1000 | 订货编码:PT200004290050 | 在线询价 | -+ |
PWPDS-05P | 库存:1000 | 订货编码:PT200004290051 | 在线询价 | -+ |
PWPDS-09P | 库存:1000 | 订货编码:PT200004290052 | 在线询价 | -+ |
PWPDS-12P | 库存:1000 | 订货编码:PT200004290053 | 在线询价 | -+ |
PWPDS-24P | 库存:1000 | 订货编码:PT200004290054 | 在线询价 | -+ |
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产品概述技术参数行业知识
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一、产品应用 ●半导体、干法刻蚀机、PVD、CVD显示器(OLED)一各类测量。 |
二、产品特性(优势) ●PDS ESC是一种将平板型截止传感器。 ●应用于ESC(静电吸盘)的系统,用于实时测量在真空腔体内激活的等离子体密度。 ●能够实现生产工艺的实时监控,是一种新概念的传感器集成ESC产品。 |
三、产品规格 ●PWPDS-03P、PWPDS-05P、PWPDS-09P、PWPDS-12P、PWPDS-24P |