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半导体备件耗材类半导体干法刻蚀机PDS静电吸盘
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半导体干法刻蚀机PDS静电吸盘


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PWPDS-03P
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订货编码:PT200004290050
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PWPDS-12P
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一、产品应用

半导体、干法刻蚀机、PVD、CVD显示器(OLED)一各类测量。

二、产品特性(优势)

●PDS ESC是一种将平板型截止传感器。

应用于ESC(静电吸盘)的系统,用于实时测量在真空腔体内激活的等离子体密度。

能够实现生产工艺的实时监控,是一种新概念的传感器集成ESC产品。

三、产品规格

●PWPDS-03P、PWPDS-05P、PWPDS-09P、PWPDS-12P、PWPDS-24P


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