TC-wafer 晶圆测温系统

产品名称：TC-wafer 晶圆测温系统

产品规格：

[12"-17P]、[12"-5P]、[8"-17P]、[8"-3P]、[6"-9P]、[6"-5P]、[option-Vacuum Feedthrough]、[D-sub Connector]

产品卖点：

扁平设计：TC Wafer 采用薄片状结构，适合安装在狭窄空间或需要测量表面温度的场合 高精度：能够精确测量表面温度，适用于对温度控制要求较高的工艺 耐高温：通常采用耐高温材料（如微石英管、氧化铝、特氟龙等），适用于高温环境（如 ~1200℃） 抑制颗粒产生：采用高纯度材料，减少颗粒污染，适合洁净环境（如半导体工艺）

产品应用：

半导体工艺：用于测量晶圆、反应腔体等表面温度。 真空环境：适用于真空管道（Vacuum Line）或气体管道（Gas Line）的温度测量。 高温工业：如热处理设备、熔炉等。

产品详情：

项目：TC Wafer

TC元件：R/S, K, T

绝缘材料：微石英管、氧化铝、二氧化硅、玻璃纤维、特氟龙

温度范围:~1200℃℃