气体处理设备 HPS-04S

产品名称：气体处理设备

产品规格：HPS-04S

尺寸：750×900×1600

容量：400磅/分

重量：540公斤

插入物：NW50×4端口

出口：MF100×1端口

流干：耗用功率

类型：等离子体润湿

产品卖点：

分解率高

优良的有害气体处理能力

自动压力控制，防止洗涤器内堵塞（PLC控制）

安装方便，维护成本经济防止二氧化碳产生（无需燃气）

产品应用：用于半导体和 LCD 行业的气体处理和净化。适用气体所有工艺气体，包括 PFC 气体。

产品详情：一种使用热等离子体完全分解和处理半导体和 LCD 制造工艺中使用的有害 PFC 气体的系统。

Youngjin I&D的HI-PLASMA SCRUBBER不仅可以使用热等离子体彻底分解半导体/LCD工作现场产生的爆炸性、腐蚀性和有毒气体，还可以完全分解全球温室气体PFC类气体。