气体处理设备 PLASMA WET处理有害PFC气体

产品名称：气体处理设备

产品规格：YPS-04AMP

尺寸：900×1000×2030

容积：600LPM

重量：650公斤

产品卖点：

所有工艺气体，包括 PFC 气体

产品应用：

半导体/LCD全流程适用气体：包括PFCs气体在内的所有工艺气体

产品详情：

一种使用热等离子体完全分解和处理半导体和 LCD 制造过程中使用的有害 PFC 气体的系统。Youngjin I&D的HI-PLASMA SCRUBBER不仅可以使用热等离子体彻底分解半导体/LCD工作现场产生的爆炸性、腐蚀性和有毒气体，还可以完全分解全球温室气体PFC类气体。