6-32 Plug Screws in Semiconductor Tools – Technical Notes (Draft)

最近在做晶圆传输腔体维护时，发现几个6-32塞螺丝有轻微变形或滑丝现象，怀疑是扭矩控制不当或材料选型不合适。以下是一些整理后的技术点，供后续参考。

螺纹规格

6-32 UNC

公称直径：0.1380 in（约 3.51 mm）

螺距：0.03125 in（每英寸32牙）

牙型角：60°

推荐拧入深度：≥ 1.5×直径（即 ≥ 5.27 mm）

这个规格在设备里主要用于盲孔封堵、传感器安装座固定、以及一些低应力法兰接口的密封。常见于干法刻蚀、PVD、CVD等模块中。

材料对比：PEEK vs PTFE

注：数据来自供应商提供的测试报告（ASTM E595 & ISO 10993-10），实际表现可能受加工工艺影响。

安装建议

使用非金属工具（如PEEK扳手）以避免划伤表面

建议最大扭矩：

PEEK：≤ 2.5 N·m

PTFE：≤ 1.2 N·m

拧入前检查螺纹状态，特别是盲孔底部是否堆积碎屑（尤其PTFE材质易磨损）

若用于真空系统，建议预烘烤后再安装，降低出气影响

实际问题记录

问题1：滑丝

描述：某台Ar机台上的6-32 PTFE塞螺丝在拆卸时滑丝

分析：可能因反复拆装导致螺纹磨损，或安装时未对齐

建议：PTFE不适合频繁拆装，考虑更换为PEEK或加装导向套

问题2：颜色变化

描述：部分PEEK螺丝使用后略发黄

分析：可能是热老化或局部高温暴露所致，不影响功能（FTIR检测无结构变化）

建议：若客户在意外观，可提供本色PEEK批次号追踪

应用场景简要

真空口封堵：PTFE为主，出气率低

湿法清洗区法兰密封：PEEK为主，抗酸碱

传感器底座固定：根据电导要求选择绝缘材质

工具快换接口保护帽：PEEK，兼顾强度与耐磨

其他备注

目前使用的6-32 plug screws符合SEMI E10 Class 1标准

所有材料均为FDA认证等级，可用于Class 10洁净室环境

推荐库存配置：

PEEK 6-32 × 0.5 in：常备

PTFE 6-32 × 0.375 in：备用