在半导体设备组装过程中，adjustable support screw 往往被视为一个辅助性元件，但在实际安装和调试中，它对法兰贴合、密封完整性以及模块对中起着不可忽视的作用。尤其是在 Lam Research 的 Centura 平台、Kiyo 模块等设备中，其装配顺序与拧紧力矩直接影响最终工艺表现。

多数工程师在装配时习惯先锁死主螺栓，最后才调整 support screw，这种做法虽然直观，但容易造成法兰局部应力集中。因为当主螺栓已经预紧甚至完全锁死后，再通过 support screw 进行微调，实际上是在用这个螺丝去“撬动”整个法兰结构，进而可能导致 O-ring 压缩不均或法兰面轻微翘曲。

正确的装配顺序应为：主螺栓初步预紧后，再利用 support screw 进行高度微调，确保法兰面均匀贴合，之后再按规范扭矩逐步锁紧主螺栓。这一流程能有效避免因支撑点错位导致的密封不良问题。

support screw 的另一个常被忽略的功能是参与加热器接地通路。在某些带有 RF 加热的平台上，heater base 是通过法兰与腔体金属结构建立电连接的。如果 support screw 接触不良，会增加接地回路电阻，从而引发 RF 噪声干扰热控信号，表现为温度控制抖动或 thermal error 报警。

此外，由于 support screw 通常位于法兰四角下方，在调整不当的情况下，可能引起 ESC 或 Process Kit 的水平偏移。即便偏移量仅为几十微米，也可能导致 wafer 与电极板之间的平行度异常，影响 deposition 或 etch uniformity，严重时甚至触发 alignment error。

材质与扭矩控制也是不可忽视的因素。常见的 support screw 多为 M6 或 #10-32 规格，材质以不锈钢为主，部分洁净室设备采用阳极铝或 PEEK 材质以减少颗粒释放。建议根据不同材料控制拧紧力矩：不锈钢 ≤ 3.5 N·m，阳极铝 ≤ 2.0 N·m，PEEK ≤ 1.2 N·m。过高的扭矩不仅会造成法兰变形，还可能损伤螺纹或引发结构性疲劳。

现场有多个案例表明，support screw 的误操作并非孤立事件。例如某次 chamber 更换后 particle 数持续偏高，查到最后发现是 support screw 拧得太紧，导致法兰局部下沉，O-ring 压缩不均形成潜在漏气点；另一台设备在搬机后报出 ESC alignment error，排查发现是 support screw 被误当成“强制拉正工具”，结果整个 ESC 组件发生微小偏移。

因此，在设备装配与维护过程中，不应将 support screw 视为可有可无的零件。它虽不起眼，却是实现结构稳定、密封可靠、工艺一致的重要环节之一。