Lam Research RF Grounding Strap (Model 227) 更换记录

最近在做一台 LAM 的 Centura 平台 PM 时，遇到一个 RF 接地条（Grounding Strap）老化的问题，查了下编号是 Model 227，看起来像是标准件，但实际拆装还是有些细节需要注意。

From: 工艺支持组
Subject: 关于RF接地条 Model 227更换建议

最近几台设备出现RF打火现象，排查后发现部分Model 227接地条有断裂或接触不良情况。建议PM时重点关注，并注意安装角度和紧固顺序。

基本参数

Part Number: RF-GND-STRAP-227 或类似

材质: 多层铜箔结构，带绝缘套管

连接方式: 两端为 M6 螺孔，配平垫 + 弹垫

适用平台: Lam Research Centura、Kiyo、Sola 系列等

最大通过电流: 可承载 ≥ 100 A RF 电流

阻抗匹配要求: ≤ 5 mΩ（实测值应 < 3 mΩ）

这个接地条主要作用是将腔体外壳与 RF Power Supply 模块之间的高频回路导通，防止电位差造成打火或功率反射。

安装位置说明

通常位于：

腔体后侧靠近 RF 匹配盒下方

一端固定在腔体法兰上，另一端固定在 RF box 支架上

安装方向有一定自由度，但建议保持“自然垂落”状态，避免弯折或拉扯。

更换步骤简要

断电 & Lockout/Tagout 确保 RF Generator 已关闭并锁定 放电完成后再操作

拆除旧接地条 使用 10mm 开口扳手松开两端螺丝 注意不要强行掰动铜箔部分，容易变形

清洁接触面 用酒精+无尘布擦拭金属接触面 去除氧化层或灰尘，确保低阻连接

安装新接地条 套上平垫 + 弹垫 扭矩控制建议：M6不锈钢螺丝 ≤ 5 N·m 不要用太大力，否则铜箔会压变形，影响导通

测试电阻 用毫欧表测量两端电阻，正常应在 < 3 mΩ 若 > 5 mΩ，建议重新拆装检查接触面

常见问题记录

打火 / 功率反射异常

某台设备运行HDP沉积时出现RF打火，报警显示Forward/Reverse功率异常，接地条接触不良导致阻抗升高，形成局部放电，定期检查接地条状态，尤其是老机台

螺丝滑丝

M6螺丝在拆卸时滑牙，可能是安装时用了过大的扭矩，或者螺丝材质疲劳，使用扭力扳手控制力度，避免使用风动工具直接拧

材料替代参考（临时应急）

库存建议

常规库存配置：

Model 227：至少备 2 根/台设备

M6 不锈钢螺丝 + 弹垫：配套备用

推荐品牌替代：

Lam 原厂 Part No.

或者选用可替代的 Parker Chomerics CHO-GRP-227

其他备注

所有接地条更换后需进行一次 RF Load Test，确认系统稳定性

建议每季度巡检一次，特别是高功率工艺设备

若客户反馈有“打火”、“弧光”、“RF报警频繁”，优先排查接地系统