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三重防护闸阀


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订货编码:PT200004290002
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一、产品应用

● 半导体中含粉末和气体副产物过程的回流防止

二、产品特性(优势)

三重防护功能,防回流

●内置 1~4 通道控制器

三、产品规格

操作方式:气动

法兰尺寸:1.5"~10"

法兰类型:ISO, KF

密封:Viton O型圈 / Kalrez O型圈

响应时间:≤ 0.3~0.6 秒

工作压力范围:1x10⁻¹⁰ mbar ~ 1400 mbar(大口径至 1200 mbar)

泄漏率:< 1x10⁻¹⁰ mbar ℓ/sec

使用寿命:200,000 次

阀体温度:≤ 200°C

执行器温度:≤ 80°C

烘烤温度:≤ 150°C

材质:SUS304 / AL6061(阳极氧化)

安装方向:任意

驱动气压(N₂):4~7 bar


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