智能调节蝶阀

【产品应用】 动态调节磁场：可在真空腔内实时调整磁场大小和分布，不需要破空、不需要将磁棒抽出即可实现磁场调节 改善薄膜均匀性：调节磁棒的调节点，能够快速、精确的调整膜层均匀性 提高靶材利用率：减少靶材局部过度侵蚀，使材料消耗更加均匀，降低成本 优化沉积速率：通过对磁棒相关调节点的调整，实现靶材表面的磁场在靶材的使用周期内保持一致 支持不同靶材：适用于多种材料和工艺，可调节磁场适应不同沉积需求 【产品卖点】 随时调节磁棒位置，最大21.6mm的调节行程，相邻点位差≤3mm，可满足不同工艺要求 轻易满足<士1.0的膜层均匀性要求，可达士0.5% 支持靶材长度：600mm~4500mm，调节点间隔：300mm（可定制） 移动精度最小50微米 支持最大靶材直径：180mm 随机管理软件，方便控制多只磁棒；可集成到PLC程序中，实现上位机界面控制 【生产工艺】 配料→混合球磨→预烧→二次球磨→砂磨→造粒→压制成型→烧结→精加工→表面处理→磁化处理→检测→包装