Spring Hanger Assembly（ASSY RTNR）是 LAM2300 平台加热器组件中的关键支撑结构之一。尽管其外观和安装方式看似简单，但从热管理、机械应力释放和接地通路维持的角度来看，它在整个工艺模块中扮演着多重角色。

该组件并非单纯的被动悬挂件，而是集成了弹性支撑、热膨胀补偿、RF 接地路径以及腔体稳定性控制等多种功能。其设计意图在于通过可控的柔性连接，在加热器热循环过程中实现以下目标：

· 维持 heater base 的动态水平状态

· 缓冲因热膨胀引起的结构位移

· 提供稳定的 RF 返回路径

· 抑制因机械振动导致的 particle 释放

在实际更换或维修过程中，工程师常忽略其对整体系统的影响，仅将其视为“辅助性支撑部件”。这种理解偏差往往会导致后续运行中出现一系列非预期问题，例如 thermal control 抖动、ESC alignment 偏移、甚至 RF 打火等现象。

从结构角度来看，ASSY RTNR 包含弹簧元件、限位机构及接地片三大部分。其中，弹簧部分允许加热器在垂直方向上存在一定自由度，以适应热态下的形变；限位结构则防止过行程造成的法兰变形；而接地片作为 RF 返回路径的一部分，必须保持良好接触，否则可能引发功率反射异常。

在装配流程中，若未遵循正确的操作顺序，容易造成弹簧预紧力分布不均，从而影响 heater base 的初始位置。典型表现包括：

加热器一侧高一侧低

O-ring 压缩量不一致

ESC 对中误差超出容许范围

这些问题通常不会立即触发报警，但在长时间运行后会逐渐显现为工艺波动或 particle 异常升高。

此外，由于 ASSY RTNR 的安装位置靠近加热器法兰边缘，其自身状态也会影响法兰的整体贴合质量。若多个 hanger 安装张力不一致，可能导致法兰局部受力集中，进而影响密封性能，形成潜在漏气点。

在多个现场案例中，更换 ASSY RTNR 后出现的 thermal error 和 RF 故障，最终都被追溯至接地路径中断或弹簧回弹异常。特别是当接地片氧化、断裂或未完全贴合时，RF 返回路径阻抗上升，导致打火风险增加。这种情况在 high-power plasma 工艺中尤为明显。

因此，在更换此类组件时，建议采用以下操作逻辑：

1. 在拆除旧件前，先松开预紧螺丝释放弹簧张力；

2. 拆卸过程中注意限位卡扣是否完全解除；

3. 新件安装后不要立即拧死主固定螺栓；

4. 调整过程中配合 support screw 进行微调；

5. 最终锁紧前确认接地片处于良好贴合状态；

6. 全部调整完成后，再逐步锁紧主螺栓以避免引入额外应力。

综上所述，ASSY RTNR 虽然在设备 BOM 中并不显眼，但它所承担的功能远超传统意义上的“支撑”角色。它不仅是一个热膨胀缓冲元件，更是确保工艺稳定性和设备可靠性的关键节点之一。

忽视其在装配流程中的作用，可能会带来一系列连锁反应，影响从 particle 控制到 RF 性能在内的多个关键参数。