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半导体
芯片制造工艺全讲解之-干法刻蚀
Global PNG2025-07-24 15:38:03
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干蚀刻，即将特定气体置于低压状态下施以电 压，将其激发成电浆，对 特定膜层加以化学性蚀刻或离子轰击，达到去除膜层的一种蚀刻方式


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