芯片智造 芯片智造2023-03-19 09:20:48

无尘室(CleanRoom)，亦称为无尘室或洁净室 。它是污染控制的基础 。没有无尘室 ，污染敏感零件不可能批量生产 。 在 FED-STD-209E里面 ，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间 ，其中特定的规则的操作程 序以控制空气悬浮微粒浓度 ，（公众号： 芯片智造）从而达到适当的微粒洁净度级别 。无尘室是指将一定空间范围内之空 气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除 ，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动 及照明、静电控制在某一需求范围内 ，而所给予特别设计之房间。

标准

世界各国均有自定规格 ，但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六 级 。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级 ，（公众号： 芯片智造）如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙 述 ，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如 ， 1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗 ，如果 尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示 。例如： 10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大

下 ，（公众号： 芯片智造）密度不大于75颗/立方英尺)， 1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下 ，密度不大于35颗/立方英 尺)。

构成

一,隔间

二,风系统

三,水系统

四,空调控制系统

五,其他系统

隔间

万级无尘室隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区, 千级区和百级区均设风淋室(airshower), 无尘室 与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入无尘室时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入无 尘室的灰尘. （公众号： 芯片智造）传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果.

风系统

风系统流程

系统采用的是全新风空调箱+FFU系统.

全新风空调箱结构

FFU:(FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器

千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%

水系统

水系统流程

冰水系统分为一次侧和二次侧.

一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统 （公众号： 芯片智造）

一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.

板式换热器原理

干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水 温度在12-14度.

控制系统(DDC)

温度:干盘管系统控制

湿度:空调箱调节通过感测的信号 （公众号： 芯片智造）控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量

正压:空调箱调节,根据静压感测的信号, 自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量.

其他系统

不只是空调系统, 无尘室系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,

检测标准：

1.气流速度及其均匀度检测 ，这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提 ，（公众号： 芯片智造）这项检测的目的

是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。

2.系统或房间的风量检测。

3.室内洁净度的检测 。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别 ，可采用粒子计数器检测。

4. 自净时间的检测 。通过确定自净时间 ，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

5.气流流型检测。

6.噪声的检测。

7.照度的检测 。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。

8.振动的检测 。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。

9.温、湿度的检测 。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力 。其内容包括检测无尘室的送风温 度 ，检测有代表性测点的空气温度 ，检测无尘室中心点的空气温度 ，（公众号： 芯片智造）检测敏感元件处的空气度 ，检 测室内空气相对温度 ，检测回风温度。

10.总风量和新风量的检测。