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半导体设备后道工艺设备感应蒸发式卷绕镀膜设备
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感应蒸发式卷绕镀膜设备


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【产品应用】:设备可以用于镀制TiN、ZrN、CrN、TiC、TiCN、TiAlN、TiCrCN、DLC、AF等不同的膜层。设备可用于卫浴产品、手机金属中框、表带、表壳、锁具、眼镜架、高尔夫球杆球头等五金制品表面镀超黑、枪黑、玫瑰金、宝蓝、香槟金等不同颜色的装饰膜,也可以用于塑胶装饰件,玻璃灯饰、汽车配件、汽车轮毂等产品上镀膜。通过设计的调整,设备还可以作为切削刀具、工具和模具等产品表面镀制硬质膜、DLC膜等使用。 【产品卖点】:设备配置电弧源和磁控溅射阴极,电弧源可以根据不同工艺需求选择小平面弧、磁过滤弧或者大平面弧和柱弧等。溅射阴极可以选择平面阴极或者旋转阴极,还可以选择非平衡磁场阴极。配置直流、直流脉冲、双极脉冲、AC交流或者Hipims高功率脉冲电源等,可以实现各种功能薄膜的制备。设备还可以配置脉冲偏压、离子源前处理装置、热灯丝、空心阴极枪或加热烘烤装置等,能够实现更高要求的镀膜工艺。加装蒸发镀膜装置还可以实现AF/AS防指纹镀膜。
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