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半导体设备后道工艺设备双辊多腔室磁控卷绕真空镀膜机
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双辊多腔室磁控卷绕真空镀膜机


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【产品应用】:适用于在玻璃镜片,塑料板材/片材等基材的表面镀制AR、超硬AR、BBAR膜层、高反射膜,UV/IR截止滤光片、带通滤光片、彩色膜等精密光学膜的镀膜。还可以实现AF/AS膜的镀制。产品广泛应用在手机、平板电脑、车载中控屏玻璃/塑料板材、光学镜片/镜头等不同领域。 【产品卖点】:设备采用先溅射后离化的ICP镀膜工艺,相比传统的反应溅射工艺,新工艺具有更高的沉积效率、更好的镀膜重复性和更好的膜层品质,膜层品质体现在有更好的膜层致密度和更低的吸收,可以实现精密光学多层膜镀制。 设备可以设计成单室或者多室结构,并可以选配自动装卸片装置,以实现更高的生产效率和更低的运行成本。 设备配置蒸发镀膜系统,还可以实现AF/AS膜的制备。
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