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半导体设备检验与测量设备高压空气(专用 Air,CDA 等)泄漏检测仪
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高压空气(专用 Air,CDA 等)泄漏检测仪


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▶ 产品特点 -高压空气(专用 Air,CDA 等)漏检设备 -支持高压 AIR(Max 30bar,或更高) -加压式结构,具备世界领先的漏检灵敏度(已获专利) -考虑环境变化,检测结果稳定(1分钟内 ±0.1℃ 稳定) -设备内部实现零泄漏(保障微泄漏检测能力) -复合传感器测量方式,判定准确 -可实现多压力范围下的精密直压、流量检测 -检测环境灵活,支持移动式检测,客户定制 -可检测单品、多工位、开口容器及组装件 -内置 Non-leakage / Leakage Master 检测,保障精度 -可与水浸检联动使用(气泡检) -检测数据实时保存,支持 Excel 导入导出 -AIR 专用构造,流程与 LTS 5000-G100S 不同,软件流程相似
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