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半导体设备检验与测量设备N₂(氮气)、Ar(氩气)、He(氦气)、H₂(氢气)、混合气体等泄漏检测仪
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N₂(氮气)、Ar(氩气)、He(氦气)、H₂(氢气)、混合气体等泄漏检测仪


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▶ 产品特点 -适用于 N₂(氮气)、Ar(氩气)、He(氦气)、H₂(氢气)、混合气体等漏检 -可根据客户需求设计,适应不同气体特性 -加压式结构,具备世界领先的漏检灵敏度(已获专利) -考虑环境变化,提供稳定的检测结果(1分钟内 ±0.1℃ 稳定) -设备内部实现零泄漏(保障微泄漏检测能力) -复合传感器测量方式,判定准确 -可实现多种压力范围下的精密直压与流量检测 -可移动式检测,满足客户现场检测需求 -支持单品、多工位、开口容器及组装设备检测 -可替代真空检测进行泄漏不良筛选(需对比验证) -检测数据实时保存,支持 Excel 导入导出 -内置 Non-leakage 及 Leakage Master 标准检测,保持设备精度
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