智能调节蝶阀2

干法刻蚀机电气传输组件

本产品专为干法刻蚀机量身打造，核心用于保障设备内部电气连接稳定与高效信号传输，为芯片刻蚀工艺提供可靠的电气支撑。

一、关键应用场景

• 严苛工况适配：适用于高温、高真空、等离子环境下，支撑刻蚀、清洗等工艺的电气传输要求。

• 芯片工艺控制：在刻蚀过程中保证精准的功率与信号传输，有助于提高工艺一致性和芯片良率。

• 干法刻蚀机配套：作为干法刻蚀机核心电气组件，保障设备长时间连续运行的电气传输稳定性。

二、核心产品特性

稳定可靠

设计用于保证在高功率、高温等严苛环境下实现稳定的电气连接，降低系统故障风险。

耐高温与耐腐蚀

优选材料和工艺，能够抵御等离子刻蚀过程中产生的高温及化学腐蚀，延长产品寿命。

多样化选择与高性能

提供多种结构版本满足不同设备与工艺需求，优化结构和材料确保长时间连续运行的可靠性和高效率。