低粒子传输门阀

产品应用：

1.晶圆厂真空传输系统：传输腔与工艺腔（刻蚀、CVD、PVD、ALD）之间的隔断与晶圆传输通道控制，防止颗粒污染与真空泄漏。

2.光刻、沉积、蚀刻等关键工艺：适配 L - Motion 低摩擦结构，避免密封件摩擦产尘，保障晶圆良率；同时用于设备集群式真空系统的腔体隔离与快速切换。

3.半导体封装测试：晶圆 / 芯片传输环节的洁净隔离，适配高洁净度与低振动的自动化传输需求。

产品卖点：

1.采用气路分配装置简化内部结构，结构更加紧凑；

2.采用两组气缸分别控制，L形动作降低颗粒物产生；

3.阀门内部运动件增加减振设计，动作平稳，振动值较低

4.动密封采用波纹管密封，其它密封件为氟橡胶或全氟橡胶，密封可靠；

5.阀板采用硫化胶圈，减少密封时的颗粒物产生，密封更加可靠；

6.气路分配装置增加断气压力保持功能，使得断气后仍能保持在开启和关闭 位置（关闭时保证密封效果）；

7.气源压力和单独调节大小，输出的密封力大小可调；