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半导体设备工艺设备系统磁悬浮复合分子泵
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核心优势

磁悬浮轴承,无磨损
完全无油,超高洁净
 振动极低,运行平稳
智能监控,维护率低
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磁悬浮复合分子泵


生产状态:现货
发货日:30 天
售卖单位:   
起订量:1 

订货编码:

PT200004460048

适用于半导体、镀膜及表面分析等超高洁净真空领域。
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产品应用:

  1. MTP系列磁悬浮复合分子泵采用一体式控制器,被广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体工艺制程。

产品卖点:

1.具有高抽速、高稳定性、耐腐蚀、易安装等优点。

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