核心优势
可选择U型或L型
更换周期为12~14个月，维护方便
适用于850℃高温环境
保证腔体温度分布一致
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侧壁石英加热器(Wall Quartz Heater, L type)
生产状态：现货
发货日：30 天
售卖单位：个
起订量：1
产品适用于晶圆工艺：快速热退火（RTA）、光刻胶前烘/后烘、清洗后干燥。
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型号
U-Type, 3805-320001-13 | 库存：100 | 订货编码：PT200004450002 | 价格：15745.02 | -+ |
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产品概述技术参数行业知识
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产品应用： ●适用于850℃高温环境，保证工艺腔体的温度分布一致。 |
产品特性： ●侧壁石英加热器主要安装在设备腔体侧壁位置，通过碳纤维发热体提供稳定且均匀的远红外加热。 ●根据设备布局和功率需求，可选择U型或L型，功率分别为5.76kW和0.96kW，更换周期为12~14个月，维护方便。 |
产品展示图：
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