刻蚀设备耐高温备件TechRes® IP77

产品概述：

● TechRes® 是一个全氟弹性体（FFKM）产品系列，IP后的数字代表不同的配方型号（如IP39, IP88, IP77, IP48）。FFKM是弹性体中耐化学性、纯度和耐温性（300°C以上）的最高等级。这些O型圈、密封圈等部件用于半导体蚀刻、CVD等设备的真空腔室和气体输送系统，能极端苛刻的等离子体和腐蚀性工艺气体环境中保持密封完整性，是保证机台正常运行时间和工艺稳定的关键消耗品。

产品应用：

●应用领域：半导体与电子制造，场景：晶圆制造中的蚀刻、沉积和清洗设备密封件（如O型圈、阀座）。

●应用领域：化工与制药，场景：反应釜、管道和泵的密封系统，接触强酸（如硫酸、硝酸）、强碱或有机溶剂。

●应用领域：汽车与航空航天，场景：航天器液压系统，耐受火箭推进剂（如肼类）。

产品特性：

●产品特点：极端耐化学性：可抵抗酸、碱、酮、酯、醇类、高温水等多种化学物质。

●高温稳定性：可承受高达 320˚C 的持续高温环境，保持稳定的密封性能。

●低压缩永久变形（Compression Set）：相比其他 FFKM 材料，TechRes® IP39 在高温下的压缩形变更小，确保长期密封性能。

●良好的机械强度：具备高抗拉强度和断裂伸长率，能够在动态和静态应用中长期使用。

●卓越的等离子耐受性：在氧气和氟等离子体环境下，具有较低的颗粒生成率和质量损失，适用于高洁净度要求的工艺环境。

●出色的 O-Ring 恢复力：相比其他材料，TechRes® IP39 具有更强的弹性和恢复性能，在长期使用后仍能保持良好的密封效果。