PVD/ALD工艺验证ASTM20-02B 测量仪器

产品概述：

●ASTM20-02B 是一款基于 ASTM D20 塑料委员会相关标准设计的高精度、专业化材料热力学性能测试仪器。型号中的“B”后缀通常代表其符合 ASTM D648 标准下关于热变形温度（HDT） 测试的 B 类负载条件（即 0.455 MPa 或 66 psi），这是一项非常常见且重要的测试标准。该仪器专用于精确评估塑料、高分子复合材料及半导体封装材料等在不同负载下的短期耐热性能。

产品应用:

半导体领域应用

●快速点检与故障诊断

●在突发性工艺异常（如温度漂移）时，快速接入机台（如Epitaxial Reactor）进行临时检测。

●设备维护期间的移动式测温，减少产线停机时间。

●真空与特殊环境测试

●兼容 真空腔室（需选配），用于PVD/溅射设备的温度验证。

●无尘室（Clean Room）内的便携式晶圆温度抽检。

●小批量试产验证

●新工艺开发时，灵活部署至实验线（Pilot Line）收集温度数据。

其他工业应用

●实验室研发（如新材料烧结温度测试）。

●电力电子模块（如IGBT）的散热性能评估。

产品特性：

●便携式灵活检测：DC电池供电（1-12小时续航），无需外接电源，适用于半导体设备 临时检测 或 维护调试，可快速部署至机台（如Diffusion Furnace）进行点检，减少产线停机时间。

●高精度与多通道：同样支持 64通道 和 0.02°C分辨率，确保数据与ASTM20-01一致，适合移动场景下的精密测温。

●半导体应急解决方案：在 突发工艺异常（如温度漂移）时，可快速接入设备诊断，避免晶圆报废，兼容真空腔室测试（需选配），适用于PVD/ALD工艺验证。

●低功耗设计：优化功耗管理，单次充电可支持 全天断续检测，适合半导体厂区多点巡检。