智能制造与远程监控测量仪器

产品概述：

●ASTM20-02WL 是一款符合 ASTM D20 塑料委员会相关标准的高精度、专业化材料热力学性能测试仪器。

产品应用：

半导体领域应用

●智能制造与远程监控,实时传输晶圆温度数据至 MES/SCADA系统

●实现智能工厂（Smart Fab）的数字化管理。

●无尘室（Class 100-1000）内的无线监测，避免布线污染风险。

高速工艺控制

●RTP（快速热处理） 设备的瞬时温度反馈，确保毫秒级工艺稳定性。

●化合物半导体（如GaN、SiC）外延生长时的温度同步记录。

多设备协同监测

●同时监控多个机台（如Cluster Tool）的温度状态，优化生产节拍。

●与机械臂联动，追踪晶圆搬运过程中的温度变化。

其他工业应用

●食品/医药行业洁净车间的无菌环境温度监控。

●汽车电子（如功率模块）的老化测试。

产品特性：

●无线远程监控：Wi-Fi/LAN数据传输，实时将温度数据发送至笔记本或中控系统，实现 无尘室远程监控，避免传统布线对半导体设备的干扰，提升产线整洁度与安全性。

●智能制造集成：支持 16通道/模块（可扩展），适配半导体自动化设备（如机械臂搬运晶圆时的温度追踪），数据可通过 AST N1软件 接入MES/SCADA系统，助力工业4.0升级。

●实时响应与告警：温度超差时自动触发报警，适用于 RTP（快速热处理） 等高速工艺的即时调控，历史数据云端存储，便于半导体良率分析与工艺追溯。

●半导体特殊场景适配

●无线设计避免接触污染，适合 高洁净度区域（如光刻区）。

●低延迟传输（<100ms），满足实时控制需求（如Epitaxial生长监控）。