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硅片清洗/研磨CCM 化学浓度计 B32 系列
生产状态：现货
发货日：30 天
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型号
B32 系列 | 库存：1000 | 订货编码：PT200004300016 | 在线询价 | -+ |
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产品概述技术参数行业知识
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一、产品概述 ●B32 化学浓度计基于物理手段的复合传感器以声速、电 导率、温度、光谱为基础，配合三维数字模型进行计算。 采用多元方程式作为理论依据建立数字化的三维模型，在 特定情况下实现多种化学品浓度的实时监测。 应用案例： ●6 寸、8 寸、12 寸硅片清洗/研磨（硫酸&双氧水；氨水&双氧水&水；盐酸&双氧水&水；BHF&BOE）； ●涂胶工艺线化学品浓度监测（TMAH&PR；HF&氨酸） ●湿法刻蚀前显影机化学品监测（TMAH&PR；HCL&双氧水等） ●阵列装置显影机化学浓度监测（TMAH&PR；HCL&双氧水等） ●显影机浓度回收系统（TMAH&PR） ●化学沉积装置 化学品浓度监测 |
二、技术参数
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三、核心优势 ●可以实现自动校准、远程故障预警、维护报警 ●测量稳定性高（长期无故障运行 9000 小时以上） ●精度可在±0.001 wt%（需依照测量介质数据模型设定） ●模拟 （4-20mA）、数字（modbus RS485 RS232）、全数字化通信及控制 |
