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AI203 高阻抗类型、脱载能良好陶瓷静电吸盘
生产状态：现货
发货日：30 天
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型号
CERAMIC ESC (300mm) | 库存：1000 | 订货编码：PT200004290037 | 在线询价 | -+ |
CERAMIC T-ESC (300mm) | 库存：1000 | 订货编码：PT200004290038 | 在线询价 | -+ |
CERAMIC T-ESC (200mm) | 库存：1000 | 订货编码：PT200004290039 | 在线询价 | -+ |
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产品概述技术参数行业知识
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一、产品应用 ●领域: 半导体工艺、显示器工艺、LED 工艺等等。 ●应用：Etcher, PVD, CVD, Sputter。 |
二、产品特性（优势） ●功能：AI203 高阻抗类型 ●漏电流较小 ●脱载能良好 ●在陶瓷内部构建He隧道 ●器件损伤较小 ●ESC特点：快速脱载、埋设的氦隧道、工艺气体耐受性、高等离子体耐受性 |
三、产品规格 ●SXC-154L |
