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半导体设备检验与测量设备高压空气(专用 Air,CDA 等)泄漏检测仪
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高压空气(专用 Air,CDA 等)泄漏检测仪


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LTS 5000-A30S
库存:100
订货编码:PT200004290007
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一、产品应用

●高压空气(专用 Air,CDA 等)漏检设备,支持高压 AIR(Max 30bar,或更高)。

二、产品特性(优势)

加压式结构,具备世界领先的漏检灵敏度(已获专利)

考虑环境变化,检测结果稳定(1分钟内 ±0.1℃ 稳定)

设备内部实现零泄漏(保障微泄漏检测能力)

复合传感器测量方式,判定准确

可实现多压力范围下的精密直压、流量检测

检测环境灵活,支持移动式检测,客户定制

可检测单品、多工位、开口容器及组装件

内置 Non-leakage / Leakage Master 检测,保障精度

可与水浸检联动使用(气泡检)

检测数据实时保存,支持 Excel 导入导出

AIR 专用构造,流程与 LTS 5000-G100S 不同,软件流程相似

三、产品规格

●外形尺寸:500(W) x 600(D) x 1170(H) mm(可根据用途修改结构)

电源:220V AC 单相 60Hz

检测方式:加压式漏检

测量方式:高性能压力传感器 + 质量流量传感器(ΣΔP, ΣΔcc)

压力范围:Max 30bar(有过最高 150bar 实现记录)

最小测量单位:压力 0.0000 bar / 质量 0.00000 cc

精度:3min ΣΔP 0.0000 bar / ΣΔcc 0.00000

软件:PLC

操作面板:10.1英寸触摸屏(分辨率可调)

压力传感器:表压 ±0.035% F.S, 24bit 分辨率

质量传感器:±1% F.S 准确度

阀件:高压隔膜阀

内部过滤:关键部位双重过滤


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