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半导体设备检验与测量设备N₂(氮气)、Ar(氩气)、He(氦气)、H₂(氢气)、混合气体等泄漏检测仪
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N₂(氮气)、Ar(氩气)、He(氦气)、H₂(氢气)、混合气体等泄漏检测仪


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LTS 5000-G100S
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一、产品应用

●适用于 N₂(氮气)、Ar(氩气)、He(氦气)、H₂(氢气)、混合气体等漏检

二、产品特性(优势)

可根据客户需求设计,适应不同气体特性加压式结构,具备世界领先的漏检灵敏度(已获专利)

考虑环境变化,提供稳定的检测结果(1分钟内 ±0.1℃ 稳定)

设备内部实现零泄漏(保障微泄漏检测能力)

复合传感器测量方式,判定准确

可实现多种压力范围下的精密直压与流量检测

可移动式检测,满足客户现场检测需求

支持单品、多工位、开口容器及组装设备检测

可替代真空检测进行泄漏不良筛选(需对比验证)

检测数据实时保存,支持 Excel 导入导出

内置 Non-leakage 及 Leakage Master 标准检测,保持设备精度

三、产品规格

外形尺寸:500(W) x 600(D) x 1170(H) mm(可根据用途修改结构)

电源:220V AC 单相 60Hz

检测方式:加压式漏检

测量方式:高性能压力传感器 + 质量流量传感器(ΣΔP, ΣΔcc)

压力范围:Max 30bar(可协商变更)

最小测量单位:压力 0.0000 bar / 质量 0.00000 cc

精度:3min ΣΔP 0.0000 bar / ΣΔcc 0.00000

软件:PLC

操作面板:10.1英寸触摸屏(分辨率可调)

压力传感器:表压 ±0.035% F.S, 24bit 分辨率

质量传感器:±1% F.S 准确度(可根据性能要求调整)

阀件:高压(低压)隔膜阀或同等阀件

内部过滤:关键部位双重过滤


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