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半导体备件其他辅助材料顶部石英加热器(Top Quartz Heater, W type)
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顶部石英加热器(Top Quartz Heater, W type)


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P/N 3805-320003-14
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产品应用:

W型结构设计更适用于TEL FORMULA等半导体制程设备中需要顶部温控的工艺需求。

产品特性:

顶部石英加热器用于设备腔体的上部加热,采用碳纤维发热体,响应快、发热均匀,工作温度可达850℃。

功率为1.88kW,保证顶部与底部、侧壁加热区域协同工作,提升整体工艺温控性能。

产品规格:

发热体:Carbon Fiber

电压:208V

功率:1.88kW

电源:Single / AC

工作温度:850℃

更换周期:12~14个月

产品展示图:

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