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半导体备件其他辅助材料侧壁石英加热器(Wall Quartz Heater, L type)
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侧壁石英加热器(Wall Quartz Heater, L type)


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P/N 3805-320001-13
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订货编码:PT200004270003
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产品应用:

适用于850℃高温环境,保证工艺腔体的温度分布一致。

产品特性:

侧壁石英加热器主要安装在设备腔体侧壁位置,通过碳纤维发热体提供稳定且均匀的远红外加热。

根据设备布局和功率需求,可选择U型或L型,功率分别为5.76kW和0.96kW,更换周期为12~14个月,维护方便。

产品规格:

发热体:Carbon Fiber

电压:208V

功率:5.76kW

电源:Single / AC

工作温度:850℃

更换周期:12~14个月

产品展示图:

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