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底部石英加热器(Bottom Quartz Heater)
生产状态：现货
发货日：30 天
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P/N 3805-220014-12 | 库存：1000 | 订货编码：PT200004270002 | 在线询价 | -+ |
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产品概述技术参数行业知识
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产品应用： ●主要用于半导体CVD设备腔体底部的加热，保证工艺温度的稳定性和均匀性。 |
产品特性： ●底部石英加热器采用高纯度Shinetsu溶融石英板，配备钨棒电极和石墨纤维发热体。 ●该产品具有耐高温、耐腐蚀、杂质少的特点。 ●支持长时间连续使用，无需频繁更换，维护简单。 |
产品规格: ●石英板：Shinetsu / TSC 3 ●电极：Tungsten rod ●发热体：Graphite Fiber ●电压：208V ●功率：3.6kW ●板厚：8.5 / 9.5 / 10.5 mm ●高度：265.5 mm 外径：325 mm |
| 产品展示图：
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