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晶圆搬运与对位系统中的除静电设备


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SXH-15N(450)
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订货编码:PT200004240004
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产品应用:

晶圆搬运与对位系统中的除静电

显示面板(OLED / LCD / FPD)制造设备

光学镜头、图像传感器等微结构器件制程

高速贴片/封装设备中的静电消除模块洁净室、无尘车间等静电管控区域

长距离或大幅面除电需求场合

产品特性:

15keV 管电压 + 高电流,提升除电性能实现更快除电速度更广除电覆盖范围更有效的长距离静电中和

离子平衡 ±0V,高精度静电控制精准控制正负离子输出,保护静电敏感组件,如晶圆、玻璃基板等

全生命周期性能稳定使用寿命内持续维持优异除电效率,无需频繁维护或性能调整

无需CDA运行,无颗粒污染运行过程中不依赖压缩干燥空气,不产生颗粒扩散,洁净安全,适合Class 1~100洁净等级要求环境

产品规格:

SXH-15N(450)

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产品展示图:

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