半导体晶圆加工与封装静电消除设备

产品特性：

●主备双发射管结构，除电不中断主发射管到达寿命或发生故障时，自动切换至备用管，实现无缝静电控制。

●模块化设计，现场快速更换Tube结构可轻松拆卸更换，适合快速维护，无需专业工具，降低停机时间。

●维护经济，单管可替换发射管可单独采购与更换，无需整机更换，节约维护成本。

●极高离子平衡精度（±0V）保证不会对高精度元件（如晶圆、LCD、光电器件）造成电压损伤，适应性强。

●超洁净运行，无需CDA不使用压缩干燥空气，无粒子扩散风险，非常适合洁净室环境。

●性能稳定，寿命期内性能无衰减从初始使用到寿命终止，维持稳定除电性能，保障产品一致性与制程良率。

产品规格：

●SXH-10SD

产品展示图：