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SH-210280 STQH 硅片晶体制绒清洗机
生产状态：现货
发货日：30 天
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规格型号
SH-210280 STQH | 库存：1000 | 订货编码：PT200004220016 | 在线询价 | -+ |
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产品概述技术参数行业知识
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产品应用： ●适用于2”-8”基片的半导体清洗工艺中，有效去除硅/晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。 ●根据不同清洗工艺配置相应清洗单元，各部分有独立控制、随意组合;造型美观、实用。操作符合人机工程原理。 |
产品特性： ●炉前清洗:扩散前清洗。 ●光刻后清洗:除去光刻胶。 ●氧化前自动清洗:氧化前去掉硅面表面污物。 ●抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的污点。 ●外延前清洗:除去埋层扩散后的sio2及表面污物。 ●合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后，表面杂质及光胶残渣。 ●离子注入后的清洗:除去光刻胶，sio2层。 ●扩散预沉积后清洗:除去预沉积时的BSG和PSG。 ●CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。 ●附件及工具的清洗:除去表面所有的玷污物。 |
产品规格： ●SH-210280 STQH |
产品应用图：
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